(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123349083.X (22)申请日 2021.12.28 (73)专利权人 唐山万士和电子有限公司 地址 064106 河北省唐山市玉田县林南仓 镇东路南 (72)发明人 李剑　王丽娟　袁庆祝　常丽敏　 段洪伟　马建立　 (74)专利代理 机构 北京国贝知识产权代理有限 公司 11698 专利代理师 尹晓强 (51)Int.Cl. B24B 7/22(2006.01) B24B 41/06(2012.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种凸面晶片工件研磨装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种凸面晶片工件研磨 装置， 包括凹球形研磨盘和吸片盘； 所述吸片盘 位于所述凹球形研磨盘的上方； 所述吸片盘与卡 盘卡合连接； 所述卡盘通过第一螺母与球柄的一 端固定连接； 所述球柄的另一端通过摆杆与下锁 母活动连接； 所述下锁母和所述摆 杆之间通过第 二螺母固定连接。 使用本实用新型的凸面晶片工 件研磨装置， 工人只要将固定有凸面晶片工件的 吸片盘卡在卡盘的底部即可实现精确的安装， 同 时， 吸片盘与卡盘实现了大面积接触， 该装置对 工人的操作技艺要求低， 吸片盘的顶 面不容易磨 损， 使凸面晶片工件球面偏心度减小， 大大提高 对凸面晶片工件的加工质量， 同时， 吸片盘的使 用寿命大大延长， 更换频率大大降低， 生产成本 大大降低。 权利要求书2页 说明书9页 附图3页 CN 216463528 U 2022.05.10 CN 216463528 U 1.一种凸面晶片工件研磨装置， 包括凹球形研磨盘(1)和吸片盘(3)； 所述吸片盘(3)位于所述凹球形研磨盘(1)的上 方； 其特征在于： 所述吸片盘(3)与卡盘(5)卡 合连接； 所述卡盘(5)通过第一螺母(7)与球柄(6)的一端固定连接； 所述球柄(6)的另一端通过摆杆(9)与下锁母(8)活动连接； 所述下锁母(8)和所述摆杆(9)之间通过第二螺母(10)固定连接 。 2.根据权利要求1所述的凸面晶片工件研磨装置， 其特征在于： 所述卡盘(5)包括 卡盘‑盘体(5‑1)； 所述卡盘‑盘体(5‑1)的形状呈圆形； 所述卡盘‑盘体(5‑1)的下端面中央沿轴向 向内凹入形成卡盘 ‑卡口(5‑2)； 所述卡盘‑盘体(5‑1)的端面中央贯 通有卡盘 ‑螺纹孔(5 ‑3)； 所述卡盘‑盘体(5‑1)的上端面 边缘设置有卡盘 ‑圆锥面(5 ‑4)； 所述卡盘‑盘体(5‑1)的下端面 边缘设置有卡盘 ‑倒角(5‑5)； 所述卡盘‑倒角(5‑5)是圆倒角。 3.根据权利要求2所述的凸面晶片工件研磨装置， 其特征在于： 所述球柄(6)包括球柄 ‑球体(6‑1)和球柄 ‑杆体(6‑2)； 所述球柄 ‑球体(6‑1)和所述球柄 ‑杆体(6‑2)构成一体件； 所述球柄 ‑杆体(6‑2)的外侧面设置有球柄 ‑螺纹(6‑3)； 所述球柄 ‑杆体(6‑2)的下端设置有球柄 ‑倒角(6‑4)； 所述球柄 ‑倒角(6‑4)是斜倒角。 4.根据权利要求3所述的凸面晶片工件研磨装置， 其特征在于： 所述下锁母(8)包括下锁母 ‑本体(8‑1)； 所述下锁母 ‑本体(8‑1)的形状呈圆柱体； 所述下锁母 ‑本体(8‑1)的上端面中央开设有下锁母 ‑调节孔(8 ‑2)； 所述下锁母 ‑调节孔(8 ‑2)的侧面设置有螺纹； 所述下锁母 ‑调节孔(8 ‑2)的底面中央开设有下锁母 ‑定位孔(8‑4)； 所述下锁母 ‑定位孔(8‑4)是下半球面定位 孔或下锥面定位 孔； 所述下锁母 ‑本体(8‑1)的下端面中央开设有下锁母 ‑避让口(8 ‑5)； 所述下锁母 ‑避让口(8 ‑5)是上锥面避让口或上半球面避让口； 所述上锥面避让口 的锥顶角为15 6度； 所述下锁母 ‑避让口(8 ‑5)与所述下锁母 ‑定位孔(8‑4)相贯通； 所述下锁母 ‑本体(8‑1)的下端面 边缘设置有下锁母 ‑倒角(8‑6)； 所述下锁母 ‑倒角(8‑6)是圆倒角。 5.根据权利要求 4所述的凸面晶片工件研磨装置，权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 216463528 U 2其特征在于： 所述摆杆(9)包括摆杆 ‑杆体(9‑1)； 所述摆杆 ‑杆体(9‑1)的形状呈圆柱体； 所述摆杆 ‑杆体(9‑1)的上端设置有摆杆 ‑防护帽(9 ‑2)； 所述摆杆 ‑防护帽(9 ‑2)的形状呈圆柱体； 所述摆杆 ‑防护帽(9 ‑2)与所述摆杆 ‑杆体(9‑1)同轴； 所述摆杆 ‑防护帽(9 ‑2)的侧面设置有竖线滚花纹； 所述摆杆 ‑防护帽(9 ‑2)的直径大于所述摆杆 ‑杆体(9‑1)的直径； 所述摆杆 ‑杆体(9‑1)的下端面中央开设有摆杆 ‑储油室(9 ‑4)； 所述摆杆 ‑储油室(9 ‑4)的形状呈柱面 孔； 所述摆杆 ‑储油室(9 ‑4)的开口处阔置有摆杆 ‑定位孔(9‑5)； 所述摆杆 ‑定位孔(9‑5)的形状呈 上半球面或上锥面； 所述摆杆 ‑杆体(9‑1)的侧面中部开设有摆杆 ‑注油通气孔(9 ‑6)； 所述摆杆 ‑注油通气孔(9 ‑6)与所述摆杆 ‑储油室(9 ‑4)的上部连通； 所述摆杆 ‑注油通气孔(9 ‑6)的外口高度高于所述摆杆 ‑注油通气孔(9 ‑6)的内口高度； 所述摆杆 ‑杆体(9‑1)的下端侧面设置有螺纹。 6.根据权利要求5所述的凸面晶片工件研磨装置， 其特征在于： 所述第一螺母(7)是小六角特扁细牙螺母； 所述第一螺母(7)的规格是M1.1 1P。 7.根据权利要求6所述的凸面晶片工件研磨装置， 其特征在于： 所述第二螺母(10)是小六角特扁细牙螺母； 所述第二螺母(10)的规格是M 3.135P。 8.根据权利要求7 所述的凸面晶片工件研磨装置， 其特征在于： 所述凸面晶片工件(0)通过胶带(2)与所述吸片盘(3)固定连接； 所述胶带(2)的形状为圆形； 所述吸片盘(3)的形状为圆形； 所述凸面晶片工件(0)为圆形凸面晶片工件； 所述凹球形研磨盘(1)做自转 运动； 所述摆杆(9)做往复摆动。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 216463528 U 3