(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221561750.2 (22)申请日 2022.06.21 (73)专利权人 江苏亚电科技有限公司 地址 225500 江苏省泰州市姜堰区三水街 道科技大道151号 (72)发明人 钱诚　李刚　全陈义　 (74)专利代理 机构 北京商专润文专利代理事务 所(普通合伙) 11317 专利代理师 陈平 (51)Int.Cl. B65G 47/74(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种半导体材 料水平和升降传输装置 (57)摘要 本申请涉及一种半导体材料水平和升降传 输装置， 包括水平传输组件、 竖直传输组件和限 位组件。 限位组件设置在竖直传输组件的中间部 分， 通过限位轨与第一限位轮和第二限位轮的作 用， 对竖直传输组件的中段起到固定作用， 防止 竖直传输组件 晃动， 提高半导体材 料的安全性。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 217946766 U 2022.12.02 CN 217946766 U 1.一种半导体材 料水平和升降传输装置， 其特 征在于， 包括： 水平传输组件(1)； 竖直传输组件(2)， 能够 在水平传输组件(1)上做水平位移； 限位组件(3)， 包括位于水平传输组件(1)上方的限位轨， 以及设置在 竖直传输组件(2) 上的与限位轨配合的限位件(31)， 限位件(31)上安装有第一限位轮(32)和第二限位轮 (33)， 第一限位轮(32)和第二限位轮(33)分别抵靠在限位轨的两侧以起到限位作用， 防止 竖直传输组件(2)在竖直方向上晃动； 容纳盒放置组件(4)， 设置在竖直传输组件(2)上， 能够随水平传输组件(1)做水平运 动， 随竖直传输组件(2)做 垂直运动。 2.根据权利要求1所述的半导体材料水平和升降传输装置， 其特征在于， 所述竖直传输 组件(2)的上 方和下方分别设置有红外对射传感器。 3.根据权利要求2所述的半导体材料水平和升降传输装置， 其特征在于， 两组红外对射 传感器交叉对应设置 。 4.根据权利要求1所述的半导体材料水平和升降传输装置， 其特征在于， 所述容纳盒放 置组件(4)包括： 基座(41)， 具有相对设置两面， 其中一面设置有导轨、 另一面设置有第二滑轨(411)和 第一齿条(412)； 滑块(42)， 受驱动件驱动而能够 在基座(41)上运动， 底部具有 齿轮(422)； 中间滑动块(43)， 朝向基座(41)的一面设置有第三滑轨和第二齿条、 远离基座(41)的 另一面设置有第四滑轨； 皮带传输带(4 4)， 设置在中间滑动块(43)另一侧， 由皮带和皮带两端的皮带轮组成； 容纳盒盛放 座(45)， 用于放置半导体材 料盛放座； 所述滑块(42)位于中间滑动块(43)与 基座(41)之间， 且滑块(42)的两侧分别与第二滑 轨(411)和第三滑轨配合， 所述齿轮(42 2)同时与第一齿条(412)和第二齿条配合； 容纳盒盛放 座(45)与皮带固定连接， 且设置 于第四滑轨上。 5.根据权利要求4所述的半导体材料水平和升降传输装置， 其特征在于， 所述基座(41) 通过滚珠丝杆传动副与滑块(42)连接 。 6.根据权利要求4所述的半导体材料水平和升降传输装置， 其特征在于， 容纳盒盛放座 (45)上设置有三个定位销(451)， 在三个定位销(451)中心还设置有卡销(452)， 容纳盒盛放 座(45)底部设置有旋转驱动件(45 3)用于驱动卡销(452)做 90°转动。 7.根据权利要求6所述的半导体材料水平和升降传输装置， 其特征在于， 三个定位销 (451)成等腰三角形排布的。 8.根据权利要求4所述的半导体材料水平和升降传输装置， 其特征在于， 基座(41)由四 块基板围成， 中间围成的区域中放置滚珠丝杆传动副。 9.根据权利要求4所述的半导体材料水平和升降传输装置， 其特征在于， 所述滑块(42) 从所述基座(41)一侧通过 连接块从所述基座(41)上 方穿过延伸到基座(41)另一侧。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217946766 U 2一种半导体材料水 平和升降传输 装置 技术领域 [0001]本申请属于半导体制备设备技术领域， 尤其是涉及一种半导体材料水平和升降传 输装置。 背景技术 [0002]半导体材料， 比如晶圆、 硅 晶片， 在其生产过程中， 均会涉及到在一个平面内做大 范围的水平或者竖直方向的移动。 当传输的范围过大时， 需要将竖直方向的竖直传输机构 做得很高， 这 就容易导致在竖直方向上不稳定， 容 易发生晃动。 实用新型内容 [0003]本实用新型要解决的技术问题是： 为解决现有技术中的不足， 从而提供一种能够 稳定竖直传输 机构的半导体材 料水平和升降传输装置 。 [0004]本实用新型解决其 技术问题所采用的技 术方案是： [0005]一种半导体材 料水平和升降传输装置， 包括： [0006]水平传输组件； [0007]竖直传输组件， 能够 在水平传输组件上做水平位移； [0008]限位组件， 包括位于水平传输组件上方的限位轨， 以及设置在竖直传输组件上的 与限位轨配合的限位件， 限位件上安装有第一限位轮和第二限位轮， 第一限位轮和第二限 位轮分别抵 靠在限位轨的两侧以起到限位作用， 防止竖直传输组件在竖直方向上晃动； [0009]容纳盒放置组件， 设置在竖直传输组件上， 能够随水平传输组件做水平运动， 随竖 直传输组件做 垂直运动。 [0010]优选地， 本实用新型的半导体材料水平和升降传输装置， 所述竖直传输组件的上 方和下方分别设置有红外对射传感器。 [0011]优选地， 本实用新型的半导体材料水平和升降传输装置， 两组红外对射传感器交 叉对应设置 。 [0012]优选地， 本实用新型的半导体材料水平和升降传输装置， 所述容纳盒放置组件包 括： [0013]基座， 具有相对设置两面， 其中一面设置有导轨、 另一面设置有第二滑轨和第一齿 条； [0014]滑块， 受驱动件驱动而能够 在基座上运动， 底部具有 齿轮； [0015]中间滑动块， 朝向基座的一面设置有第三滑轨和第二齿条、 远离基座的另一面设 置有第四滑轨； [0016]皮带传输带， 设置在中间滑动块另一侧， 由皮带和皮带两端的皮带轮组成； [0017]容纳盒盛放 座， 用于放置半导体材 料盛放座； [0018]所述滑块位于中间滑动块与基座之间， 且滑块的两侧分别与第二滑轨和第三滑轨 配合， 所述齿轮同时与第一齿条和第二齿条配合；说　明　书 1/4 页 3 CN 217946766 U 3