(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221476518.9 (22)申请日 2022.06.13 (73)专利权人 青岛精诚华 旗微电子设备有限公 司 地址 266000 山东省青岛市城阳区流亭街 道双元路西 (72)发明人 刘洋　姜洪斌　李强　时东香　 王娜　 (51)Int.Cl. B65G 47/74(2006.01) F27B 17/00(2006.01) F27D 3/00(2006.01) F16J 15/10(2006.01) (54)实用新型名称 一种新型自动传动结构 (57)摘要 本实用新型提供一种新型自动传动结构， 包 括进出料腔、 进料门、 后法兰盖、 前段升降电机、 前段升降调节组件、 前段波纹管、 后段升降电机、 后段升降调节组件、 后段波纹管、 支撑底板、 导 轨、 滑块、 链条、 夹持机构底座、 夹持机构压板、 连 接组件、 碳化硅桨、 前端链轮、 后端链轮、 转向轴 承、 连接杆、 磁流体、 进退电机， 其中进出料腔正 面左侧安装有进料门， 进出料腔后侧安装有后法 兰盖； 进出料腔底部前段安装有前段波纹管， 前 段波纹管下部安装有前段升降调节组件， 前段升 降调节组件与前段升降电机连接在一起， 与现有 技术相比， 本实用新型具有如下的有益效果： 可 利用前段升降调节组件和后段升降调节组件将 碳化硅桨调至水平。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 217376317 U 2022.09.06 CN 217376317 U 1.一种新型自动传动结构， 包括进出料腔、 进料门、 后法兰盖、 前段升降电机、 前段升降 调节组件、 前段波纹管、 后段升降电机、 后段升降调节组件、 后段波纹管、 支撑底板、 导轨、 滑 块、 链条、 夹持机构底座、 夹持机构压板、 连接组件、 碳化硅桨、 前端链轮、 后端链轮、 转向轴 承、 连接杆、 磁流体、 进退电机， 其特 征在于， 其中进出料腔正面左侧安装有进料门， 进出料腔后侧安装有后法兰盖； 进出料腔底部 前段安装有前段波纹管， 前段波纹管下部安装有前段升降调节组件， 前段升降调节组件与 前段升降电机连接在一 起； 进出料腔底部后段安装有后段波纹管， 后段波纹管下部安装有后段升降调节组件， 后 段升降调节组件与后段升降电机连接在一 起； 前段升降调节 组件的升降轴穿过前段波纹管伸入到进出料腔内， 连接在支撑底板底部 前段位置； 支撑底板顶部安装有两根导轨， 导轨上面安装有四个滑块， 滑块顶面与夹持机构底座 连接在一起； 支撑底板前部安装有前端链轮， 支撑底板后部安装有后端链轮， 链条穿过前端 链轮和后端链轮； 后端链轮连接有转向轴承， 转向轴承另一端与连接杆连接， 连接杆另一端连接磁流体 输出轴， 磁流体固定于进 出料腔后部， 与进 出料腔通过密封圈密封； 磁流体输入轴连接有进 退电机， 进退电机 旋转， 通过磁流体、 连接杆、 转向轴承带动 后端链轮转动； 夹持机构底座上安装有两根碳化硅桨， 顶部安装夹持机构压盖， 通过夹持机构将碳化 硅桨固定 。 2.如权利要求1所述的一种新型自动传动结构， 其特征在于： 进料门、 后法兰盖与进出 料腔通过密封圈密封， 前段波纹管与进出料腔及前段升降调节组件通过密封圈密封， 所述 密封圈为 一种橡胶 密封圈。 3.如权利要求1所述的一种新型自动传动结构， 其特征在于： 后段波纹管与进出料腔及 后段升降调节组件通过密封圈密封， 所述密封圈为 一种橡胶 密封圈。 4.如权利要求1所述的一种新型自动传动结构， 其特征在于： 后段升降调节组件的升降 轴穿过后段波纹管伸入到进出 料腔内， 连接在支撑底板底部后段位置 。 5.如权利要求1所述的一种新型自动传动结构， 其特征在于： 夹持机构底座底面中部与 连接组件连接， 连接组件另外一侧连接链条。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217376317 U 2一种新型自动传动结构 技术领域 [0001]本实用新型属于一种新型自动进出料结构， 尤其是新型LPCVD、 氧化扩散炉等的新 型自动传动结构的研发。 背景技术 [0002]半导体材料在的氧化扩散炉或LPCVD设备中进行扩散、 氧化、 退火、 绝缘层薄膜生 长等工艺， 产品片往往是放置于石英舟或其他承载舟上， 送入反应室。 随着新工艺的不断研 发， 特别是石墨烯材料， 其产品片尺寸越来越大， 产量的增加， 产品片和承载舟的重量也增 大了许多， 对设备及工艺要求越来越高， 以往传统设备将碳化硅送料桨与产品片一同送入 反应室进行生长已经满足不了新工艺的需求。 实用新型内容 [0003]针对现有技术存在的不足， 本实用新型目的是提供一种新型自动传动结构， 解决 上述背景技 术中提出的问题。 [0004]本实用新型通过以下的技术方案 实现： 一种新型自动传动结构， 包括进出料腔、 进 料门、 后法兰盖、 前段升降电机、 前段升降调节组件、 前段波纹管、 后段升降电机、 后段升降 调节组件、 后段波纹管、 支撑底板、 导轨、 滑块、 链条、 夹持机构底座、 夹持机构压板、 连接组 件、 碳化硅桨、 前端链轮、 后端链轮、 转向轴承、 连接杆、 磁流体、 进退电机， [0005]其中进出料腔正面左侧安装有进料门， 进出料腔后侧安装有后法兰盖； 进出料腔 底部前段安装有前段波纹管， 前段波纹管下部安装有前段升降调节组件， 前段升降调节组 件与前段升降电机连接在一 起； [0006]进出料腔底部后段安装有后段波纹管， 后段波纹管下部安装有后段升降调节组 件， 后段升降调节组件与后段升降电机连接在一 起； [0007]前段升降调节组件的升降轴穿过前段波纹管伸入到进出料腔内， 连接在支撑底板 底部前段位置； [0008]支撑底板顶部安装有两根导轨， 导轨上面安装有四个滑块， 滑块顶面与夹持机构 底座连接在一起； 支撑底板前部安装有 前端链轮， 支撑底板后部安装有后端链轮， 链条穿过 前端链轮和后端链轮； [0009]后端链轮连接有转向轴承， 转向轴承另一端与连接杆连接， 连接杆另一端连接磁 流体输出轴， 磁流体固定于进 出料腔后部， 与进 出料腔通过密封圈密封； 磁流体输入轴连接 有进退电机， 进退电机 旋转， 通过磁流体、 连接杆、 转向轴承带动 后端链轮转动； [0010]夹持机构底座上安装有两根碳化硅桨， 顶部安装夹持机构压盖， 通过夹持机构将 碳化硅桨固定 。 [0011]作为一优选的实施方式， 进料门、 后法兰盖与进出料腔通过密封圈密封， 前段波纹 管与进出 料腔及前 段升降调节组件通过密封圈密封， 所述密封圈为 一种橡胶 密封圈。 [0012]作为一优选的实施方式， 后段波纹管与进出料腔及后段升降调节组件通过密封圈说　明　书 1/3 页 3 CN 217376317 U 3